紫外線UVC之對物質的穿透率，一般都很低，任何紙片、玻璃、塑膠都能大幅減低幅射強度，穿透率不到5%，唯獨石英玻璃穿透率可達80%以上。因此，要滅菌之表面或區域，應先清除障礙，讓本機台能直接照射到為佳。